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三坐标测量仪气浮轴承的性能要求

发布时间:2015-01-28

三坐标测量仪的导轨是保证机器平稳、高精度运动的关键,目前主要采用气浮导轨及直线滚珠导轨两种形式。

气浮导轨的核心是气浮轴承(空气轴承),利用气浮轴承小孔节流形成气腔内的高压,在导轨和气浮轴承间形成具有一定承载能力和刚性的薄膜。气浮导轨具有无摩擦及无磨损的特性,由于均差效应,运动的局部直线度及直角摆动较小。精度较高的三坐标测量机一般都采用气浮导轨。

气浮轴承的性能四个要求:即承载能力、承载刚性(气浮间隙每变化一微米承载能力的变化)、耗气量、抗气振能力。其他的要求还包括防锈性能、安装的工艺性,支承等的载荷设计亦不能忽略。对超高精度测量机,气浮间隙及气腔压力的稳定至关重要,超高精度测量机往往设置气浮轴承压力检查引出孔。

三坐标测量机气浮轴承结构图

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