该系统利用花岗石平板相互垂直的两个平面,作为高精度气浮区。真空吸附滑块在相互垂直的高精度气浮区做无摩擦的高精度直线运动。
本机直线度优于0.5微米/800毫米。当环境条件(温度、湿度、震动、气源)理想状态下,直线度会更高。
测量结果,测量范围可根据用户需求制作,具有可转方向、可微调的测量表夹持杆,可加持杠杆千分表、数显表、电感测头等。
产品参数:
序号 | 型号 | 有效行程 | 平台规格(mm) | 备注 |
1 | ZXC1 | 1米 | 1600*1000*200 | 含千斤顶、滑块、立柱、精密过滤器、TESA电感测微仪及轴向测头TT10 GT21-1. |
2 | ZXC2 | 2米 | 2500*1600*300 | |
3 | ZXC3 | 3米 | 3500*1600*300 | |
4 | ZXC4 | 4米 | 4500*1600*400 |
序号 | 型号 | 有效行程 | 平台规格(mm) | 备注 |
1 | ZXC1J | 1米 | 1600*500*200 | 含千斤顶、滑块、立柱、精密过滤器、TESA电感测微仪及轴向测头TT10 GT21-1. |
2 | ZXC2J | 2米 | 2500*600*300 | |
3 | ZXC3J | 3米 | 3500*800*300 | |
4 | ZXC4J | 4米 | 4500*800*400 |
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